在高效過濾器上風側發 DOP 檢漏時，在FFU高效過濾器的上風側必須設有 DOP的導入裝置及濃度檢測管。這兩個管子也可以用來檢測過濾器的阻力。

　　在檢測中，如果室內干擾因素太多，為排除干擾，可在風口出口加隔離罩，在罩內進行檢測，這樣檢測的數據較為準確。

　　尤其要注意的是，在過濾器和安裝框架之間的檢漏，可以沿安裝框架檢漏，也可以送風口箱體斷面上檢漏，但要排除卷吸氣流的干擾，要避免箱體上的積灰干擾，尤其是采樣口不能接觸高效風口箱體或過濾器的框架。

　　在有速度的氣流中采樣，采樣速度應等于氣流速度，否則采樣濃度將大于或小于真實濃度，即氣流速度大于采樣速度，采樣濃度將大于真實濃度，反之，氣流速度小于采樣速度，采樣濃度將小于真實濃度。

　　假定高效過濾器下實際斷面風速為 0.45 m/s，圓形取樣口直徑Ds 的計算：

　　V×1/4×πDs =Fa 2

　　Fa —— 儀器采樣量，28.3 L/min=472 cm3/s

　　V —— 過濾器面風速 0.45 m/s

　　經計算 Ds=36. 5 mm

　　實際上儀器的取樣口直徑為 35 mm 或正方形 30×30 mm，當然取樣口也可以是長方形的，經計算此時的采樣速度為 0.49 ～0.52 m/s，可以認為是等速采樣。

　　根據國際標準組織 (ISO) 關于潔凈室及相關受控環境的測試和測試方法 (ISO14644-3) 中公式計算：Sr ≤Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np=50×0.005%×10×3.5×472/Np式中：Sr -探管掃描速率 cm/s;

　　Cc -被測過濾器上風向氣溶膠濃度 cm-3 (50粒子 /cm3);

　　Ps -被測過濾器最易穿透粒徑最大允許整體穿透率;

　　PL -被測過濾器的最大允許泄漏;

　　K -一個因數，表示 PL 可能比 Ps 大多少倍;

　　Dp -平行于掃描方向的探管尺寸 (cm)，本文使用圓形采樣管，直徑 35 mm;

　　Fs - 離 散 粒 子 計 數 器 的 標 準 樣 品 流 量，

　　Fs=472 cm3/s (28.3 L/min);

　　Np -預期量，表現出泄漏特征的粒子計數值;

　　用下式計算：

　　Np=Cc×Ps×K×Fs

　　Np=Cc×Ps×K×Fs=50×0.005%×10×472=11.8 個，代入 Sr式得Sr=Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np

　　=50×0.005%×10×3.5×472/11.8= 3.5(cm/s)

　　每個測點實際獲得時間 Ts=Dp/Sr=1 s

　　所以，采樣口的掃描速率是和上游粒子濃度穿透率、K值、采樣口的口徑、采樣流量有著密切的關系。特別需要指出的是， 如采用 28.3 L/min 的粒子計數器和 2.83 L/min的粒子計數器，他們的掃描速率可以相差十倍，也就是講，每檢測一個過濾器的時間也相差十倍。

　　規范要求掃描速率為 5 ～ 20mm/s (其實這個速率是應該根據具體情況可以計算調整的，一般建議采用 28.3 L/min 的粒子計算器，掃描速率在 30 ～ 5mm/s 左右)。

　　規范第5.4.1條指出“對于高效過濾器，應不大于過濾器出廠合格透過率的 2 倍，對于超高效過濾器，應不大于出廠合格透過率的 3倍。”而根據條文說明的第四節評定標準則相反，高效過濾器的透過率是 3 倍，而超高效過濾器的是 2倍。從提供的數據來看，應該是以條文為準。

　　如果上游濃度為 3.5×104 粒子 /L，0.5μm的高效過濾器效率是99.99%，下游濃度為 3.5×104×0.01%×3=10.5。如果粒子計算器檢測≤ 10應為合格，否則應進行修復，修補總面積不能超過過濾器截面的 5%，每個修補點修補的最大長度必須在 40mm以下。

　　本文用 ISO 14644-3的檢漏方法及有關計算。如上述，Np 是表泄漏特征的粒子數，在 Np=11.8 時，可接受觀測計數 Ca=7個。在檢漏中，塵埃粒子讀數C ≤ Ca時，認為掃描區域無泄露，可繼續掃描，否則，要做靜態測定。靜態測定時，采樣頭在測點的滯留時間設定為 10秒鐘，此時測得的最大粒子數為Npa：Npa=Cc×PL×FS×K=50×0.005%×10×472×10=118

　　這是采樣流量為 472 cm3/s，采樣時間為 10 s時的讀數值，大于此數可判斷為泄漏。

　　如果系統總風量不大，DOP 發塵可直接送入總風管。如果 DOP發塵的總量不夠，達不到預計的濃度要求，可將 DOP直接發入高效送風口的靜壓箱。需要指出的是，上游的氣溶膠濃度需要檢測。如果穩定后，可對每個過濾器進行泄漏檢測。如果上游的氣溶膠濃度太高，粒子 計數器無法檢測，可通過稀釋的方法來進行測量。

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